光學表面3D輪廓儀

光學表面3D輪廓儀SuperViewW1集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優點，單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，結合采用擴展型的相移算法EPSI讓3D測量變得簡單。

產品性能

縱向掃描：≤10.3mm，與選用物鏡相關

掃描幀速：50FPS/s

粗糙度重復性：0.005nm（依據ISO 25178-2012）

光學分辨率：0.4μm~3.7μm，與選用物鏡相關

至大點數：1048576（標準）

臺階測量：準確度≤0.3%，重復性≤0.08%1σ

光學表面3D輪廓儀SuperViewW1結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米*別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。

產品特點

參數測量：粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積，一網打盡；

環境噪聲檢測：實時監測，納米波動，也無可藏匿；

雙重防撞保護：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石”也能安然無恙；

自動拼接：3軸光柵閉環反饋，讓3D拼接“天衣無縫”；

雙重振動隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動山搖，我自巋然不動”。

現代工業生產中，表面三維微觀形貌的測量能更真實地反映零件表面的特征以及衡量表面的質量。3d形貌輪廓儀器就是用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。可以達到納米*的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量高要求的領域中，可以說只有3d非接觸式光學輪廓儀才能達到微型范圍內重點部位的納米*粗糙度、輪廓等參數的測量。