三維非接觸式表面輪廓儀

使用三維非接觸式表面輪廓儀測量過程中，自動多區域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進行切換界面，預先設置好配置參數再進行測量，軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能，即可快速實現批量測量功能。中圖儀器研發生產的SuperView W1三維非接觸式表面輪廓儀以白光干涉技術為原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量。

產品參數

產品型號：SuperView W1系列

產品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-100

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

產品性能

縱向掃描：≤10.3mm，與選用物鏡相關

掃描幀速：50FPS/s

粗糙度重復性：0.005nm（依據ISO 25178-2012）

光學分辨率：0.4μm~3.7μm，與選用物鏡相關

**點數：1048576（標準）

臺階測量：準確度≤0.3%，重復性≤0.08%1σ

因為三維非接觸式表面輪廓儀測量精度高、使用方便、分析功能強大、測量參數齊全等優點，以及其獨特的光源模式，*證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質量檢測。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米*別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。