SJ6000激光干涉儀校準機床的應用

激光干涉儀可用于精密機床、大規模集成電路加工設備等的定位精度測量、誤差修正和控制。激光干涉儀的*大特點是在具有強大的排除干擾能力的情況下還具有非常高的精度,其分辨率可以達到納米*,從而可以大大提高制造領域的制造精度。

激光干涉儀與不同光學附件結合,可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結構,安裝位置靈活,便于分析機床誤差來源;而且測量時可以在工作部件運動過程中自動采集數據，更接近機床的實際使用狀態。

與傳統的檢定方法相比,激光干涉儀具有較高的精度和效率,并能及時處理數據,為機床誤差修正提供依據。

位置精度是機床的重要指標,目前各國機床檢定標準中都**使用激光干涉儀。因此,用激光干涉儀檢測機床各項誤差是一種用傳統測量手段難以實現的技術。

SJ6000激光干涉儀主要技術指標：

主機

穩頻精度：0.05ppm

動態采集頻率：50 kHz

預熱時間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環境濕度：(0~95)%RH

環境補償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±5%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測量

測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)

測量精度：0.5ppm (0~40)℃

測量分辨力：1nm

測量*大速度：4m/s

角度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±10°

測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

測量分辨力：0.1″

平面度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±1.5mm

測量精度：±(0.2%R+0.02M²)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

基板尺寸：180mm可調，360mm可調

測量分辨力：0.1μm

直線度測量

垂直度測量

自動精密轉臺

型號：WR50

角度測量范圍：(0~360)°

測量精度：±1″

分辨力：0.1″

*高轉速：10rpm

*高跟蹤速度：2rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直徑：112mm

通信方式：藍牙傳輸

供電方式：鋰電池

正交觸發盒

信號輸入：差分TTL(RS422)正交編碼信號、10μApp微電流信號

輸出形式：10μs脈沖

觸發延時：0.1μs

供電電源：12VDC

尺寸重量與供電

便攜箱尺寸：613mm×460mm×230mm

標準配置重量：18kg

供電電源：(100~240)VAC

安全要求

激光的安全等*達到Class I要求