SJ6000激光干涉儀校準(zhǔn)機(jī)床的應(yīng)用

激光干涉儀可用于精密機(jī)床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等的定位精度測量、誤差修正和控制。激光干涉儀的*大特點(diǎn)是在具有強(qiáng)大的排除干擾能力的情況下還具有非常高的精度,其分辨率可以達(dá)到納米*,從而可以大大提高制造領(lǐng)域的制造精度。

激光干涉儀與不同光學(xué)附件結(jié)合,可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu),安裝位置靈活,便于分析機(jī)床誤差來源;而且測量時(shí)可以在工作部件運(yùn)動(dòng)過程中自動(dòng)采集數(shù)據(jù)，更接近機(jī)床的實(shí)際使用狀態(tài)。

與傳統(tǒng)的檢定方法相比,激光干涉儀具有較高的精度和效率,并能及時(shí)處理數(shù)據(jù),為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

位置精度是機(jī)床的重要指標(biāo),目前各國機(jī)床檢定標(biāo)準(zhǔn)中都**使用激光干涉儀。因此,用激光干涉儀檢測機(jī)床各項(xiàng)誤差是一種用傳統(tǒng)測量手段難以實(shí)現(xiàn)的技術(shù)。

SJ6000激光干涉儀主要技術(shù)指標(biāo)：

主機(jī)

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時(shí)間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補(bǔ)償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±5%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測量

測量距離：(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)

測量精度：0.5ppm (0~40)℃

測量分辨力：1nm

測量*大速度：4m/s

角度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±10°

測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

測量分辨力：0.1″

平面度測量

軸向量程：(0~15)m

測量范圍：±1.5mm

測量精度：±(0.2%R+0.02M²)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)

測量分辨力：0.1μm

直線度測量

垂直度測量

自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)

型號(hào)：WR50

角度測量范圍：(0~360)°

測量精度：±1″

分辨力：0.1″

*高轉(zhuǎn)速：10rpm

*高跟蹤速度：2rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直徑：112mm

通信方式：藍(lán)牙傳輸

供電方式：鋰電池

正交觸發(fā)盒

信號(hào)輸入：差分TTL(RS422)正交編碼信號(hào)、10μApp微電流信號(hào)

輸出形式：10μs脈沖

觸發(fā)延時(shí)：0.1μs

供電電源：12VDC

尺寸重量與供電

便攜箱尺寸：613mm×460mm×230mm

標(biāo)準(zhǔn)配置重量：18kg

供電電源：(100~240)VAC

安全要求

激光的安全等*達(dá)到Class I要求