直線(xiàn)度測(cè)量是幾何量計(jì)量領(lǐng)域里一個(gè)基本的項(xiàng)目，它是平面度、平行度、同軸度等幾何測(cè)量的基礎(chǔ)，是與尺寸精度、圓度和表面粗糙度同稱(chēng)為影響產(chǎn)品質(zhì)量的四大要素，在生產(chǎn)實(shí)踐中受到高度重視，出現(xiàn)了很多種直線(xiàn)度的測(cè)量方法和裝置。
直線(xiàn)度誤差是指實(shí)際直線(xiàn)對(duì)理想直線(xiàn)的變化量，反映了被測(cè)直線(xiàn)的不直程度。根據(jù)ISO推*的標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，直線(xiàn)度誤差可分為給定平面內(nèi)的直線(xiàn)的誤差、給定方向的直線(xiàn)度誤差和任意方向內(nèi)的直線(xiàn)度誤差。通常，給定平面內(nèi)的直線(xiàn)度誤差和給定方向內(nèi)的直線(xiàn)度誤差被稱(chēng)為平面直線(xiàn)度誤差，任意方向內(nèi)的直線(xiàn)度誤差被稱(chēng)為空間直線(xiàn)度誤差。
深孔表面為回轉(zhuǎn)體表曲，深孔直線(xiàn)度公差帶根據(jù)要素的特征及其使用要求，分為限制圓柱面直母線(xiàn)形狀誤差的兩平行直線(xiàn)和限制圓柱體軸線(xiàn)形狀誤差的圓柱體兩種。深孔直線(xiàn)度檢測(cè)是精密深孔零件加工過(guò)程中的重要組成部分，是對(duì)深孔零件進(jìn)行質(zhì)量控制和管理的重要手段。是貫徹質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)*保*，有著極其重要的意義。
本文介紹的是激光測(cè)量法對(duì)深孔內(nèi)徑直線(xiàn)度進(jìn)行檢測(cè)的方法。檢測(cè)設(shè)備的基本原理是利用直線(xiàn)性非常好的激光為參照，通過(guò)PSD傳感器可精確定位光的能量中心位置的功能來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)內(nèi)孔直線(xiàn)度的檢測(cè)。
PSD是利用離子注入技術(shù)制成的一種可確定光的能量中心位置的結(jié)型光電器件，它的優(yōu)點(diǎn)主要有：1、對(duì)光斑形狀無(wú)嚴(yán)格要求，在光聚焦不理想的情況下也不影響測(cè)量精度；2、光敏面上無(wú)象限分割線(xiàn)，消除了測(cè)量死區(qū)；3、對(duì)光斑位置可連續(xù)測(cè)量。4、測(cè)量精度高，一維精度可達(dá)0.2um。本方案選取的PSD為二維的，光的能量中心位置以“X軸，Y軸”的坐標(biāo)值顯示（如圖1所示），測(cè)量精度為±15um。計(jì)入其他誤差后檢測(cè)精度為±0.05mm。
PSD芯片監(jiān)測(cè)到的激光能量中心位置信號(hào)將通過(guò)數(shù)據(jù)采集電路采集、放大并進(jìn)行數(shù)字化處理后傳輸?shù)缴衔粰C(jī)進(jìn)行處理。
總之，集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等新技術(shù)于一體的新型激光準(zhǔn)直測(cè)量?jī)x器，可以對(duì)深孔零件進(jìn)行實(shí)時(shí)快速非接觸測(cè)量，是精密深孔直線(xiàn)度測(cè)量技術(shù)的發(fā)展方向。
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