臺(tái)階儀

臺(tái)階儀

( 厚度47nm光柵標(biāo)準(zhǔn)樣品,三次重復(fù)測(cè)量結(jié)果(無(wú)任何減噪修正，原始數(shù)據(jù)輸出）

NanoMap-PS是一款專(zhuān)門(mén)為nm*薄膜測(cè)量研發(fā)的無(wú)需防震臺(tái)即可測(cè)量的接觸式臺(tái)階儀

• AFM同款位移傳感器，超高精度

• 壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描，**無(wú)內(nèi)源振動(dòng)

• 自集成主動(dòng)反饋式防震系統(tǒng)

• 真正無(wú)需額外輔助防震系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高重復(fù)性納米測(cè)量

• 納米量*科學(xué)研究的**產(chǎn)品

NanoMap-PS 臺(tái)階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體，光伏/太陽(yáng)能，光電子，化合物半導(dǎo)體，OLED，生物醫(yī)藥，PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度，臺(tái)階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），劃痕深度，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測(cè)量方面。其高精度，高重復(fù)性，自動(dòng)探索樣品表面，自動(dòng)測(cè)量深受廣大客戶(hù)歡迎。

測(cè)量表面可以覆蓋多種材料表面：金屬材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等，對(duì)于植物表面，生物材料，聚合物表面，光刻膠等“柔軟表面”也可測(cè)量無(wú)須擔(dān)心劃傷或破壞。設(shè)備傳感器精度高，穩(wěn)定性好。熱噪聲是同類(lèi)產(chǎn)品*低的。垂直分辨率可達(dá)0.1nm 。 可測(cè)表面，包括透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料，金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒等；

AEP的技術(shù)日新月異。 欲了解*新的產(chǎn)品性能參數(shù)，請(qǐng)與我們聯(lián)系。

主要參數(shù) :

垂直分辨率             0.1nm

垂直*大量程         1000um
探針接觸力             0.03mg-100mg

平臺(tái)范圍                 直徑150毫米（可選200毫米或更大）
高清圖像                  4*放大，彩色CCD
成像光源                  雙長(zhǎng)壽命強(qiáng)光LED

金剛石探針               0.5um 到 25um 可選